第3章CMOS集成电路的物理结构(4)

第3章CMOS集成电路的物理结构

§3.1集成电路工艺层2互连线电容

设满足平行板电容条件

Cline=

ε ox wlTox

ε ox:绝缘层( SiO2)介电常数，单位： F/cm2011-9-10第3章 CMOS集成电路的物理结构 7

§3.1集成电路工艺层Intel 0.18µm工艺互连线

2011-9-10

第3章 CMOS集成电路的物理结构

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