第3章CMOS集成电路的物理结构(16)

第3章CMOS集成电路的物理结构

§3.3 CMOS工艺层互连线的版图例子

M2与M1连接需要一个通孔 M1与栅连接需要一个栅接触孔 M1与D/S连接需要有源区接触2011-9-10第3章 CMOS集成电路的物理结构 31

§3.4 FET阵列设计1串联FET版图设计

器件可以共用图形区域，以节省版图面积或降低复杂性

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第3章 CMOS集成电路的物理结构

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