第3章CMOS集成电路的物理结构(12)

第3章CMOS集成电路的物理结构

§3.2 MOSFET§3.2.2 NMOS和PMOS

2011-9-10

第3章 CMOS集成电路的物理结构

23

§3.2 MOSFET§3.2.3 MOSFET中的电流n沟道MOSFET中的栅电容

Cox=ε ox/ tox栅电容：2011-9-10

单位面积栅氧电容(单位F/cm2) CG= Cox AG= CoxWL24

第3章 CMOS集成电路的物理结构

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