第3章CMOS集成电路的物理结构(3)

第3章CMOS集成电路的物理结构

§3.1集成电路工艺层互连线的电阻和电容 1互连线电阻

Rline= RS×

l w

RS=

1σt

RS:薄层电阻，方块电阻2011-9-10第3章 CMOS集成电路的物理结构 5

§3.1集成电路工艺层互连线电阻计算

Rline=RS×n2011-9-10

(n=l/ w方块数)6

第3章 CMOS集成电路的物理结构

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