第3章CMOS集成电路的物理结构(2)

第3章CMOS集成电路的物理结构

§3.1集成电路工艺层叠放过程完成后的各层情形

2011-9-10

第3章 CMOS集成电路的物理结构

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§3.1集成电路工艺层加上另一层绝缘层和第二层金属层

侧视图显示叠放顺序绝缘层将两金属层分隔开，所以它们在电气上不同每层的图形由顶视图表示2011-9-10第3章 CMOS集成电路的物理结构 4

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