OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明(8)

No. ７ 离子源不能启动。 ８ 即使按了Beam按钮，指示灯也不亮。 ９ Beam按钮On後，Acc电流值显示0ｍＡ。 1０ BeamOn後，Beam仍停止（显示E010）。 项目 Gas Line没有打开。 Gas流量低（O2：40SCCM未満） （Ar：20SCCM未満） Pulse设定电压过低（500V程度） Acc Grid和Screen Grid之间短路。 Quartz Chamber污染。 中和器的Emission和Power过低。 电源的保险丝断了。 离子源没有进入准备状态。 Acc的电极部份无接触。 Grid污染。 Quartz Chamber污染。 Grid间的绝缘子污染。 原因 打开Gas Line。 增大Gas流量（O2：50～60SCCM左右） 处理方法 （Ar：25～30SCCM左右）增大Pulse设定电压（1000V左右） 用测试仪确认并修理。 清洗Quartz Chamber。 调整设定Emission：800mA、Power：50W更换保险丝。 等进入准备状态後再按按钮。 用测试仪确认并修理。 清洗Grid。 清洗Quartz Chamber。 更换绝缘子。 清洗Keeper。 清洗Collector。 拧紧螺母。 拧紧街头。 重新组装Grid。 重新组装Grid。 1１ BeamOn後，中和器仍停止（显示E011）。 Keeper污染。 1２ Acc电流值过高。 Collector污染。 固定Collector的螺母有松懈。 Gas Line的接头松懈。 Grid的组装不良。 Grid Insulator的组装有错误（厚度）。 Grid清洗不充分。 1３ 暖機不夠。 Grid清洗後，Beam ON时Grid表面异常放电。 低电压，RF Power的环境下，让其短时间转。 重新清洗。

表面绝缘状态。用砂纸去除膜层。请每batch镀膜结束后都清洗。

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