OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明(5)

组装12 Grid Mount Plate的安装 Acc Touch Flake Acc Connector Decel Connector Grid Mount Plate 波型垫圈（12） 作業内容 如图所示将Acc Connector和Decel Connector组合後，将Grid Assy.装在Grid Mount Plate上，然后装上Acc Touch Flake和绝缘子。 注意点 确认波型垫圈（12）是否装上。 组装13 Quartz Chamber的组装 Quartz Chamber Mount Ring 作業内容 组装Quartz Chamber和Mount Ring。

注意点 组装14 导通?绝缘测试 Decel Grid – Acc Grid: 绝缘 Acc Grid – Screen Grid: 绝缘 Screen Grid – Decel Grid: 绝缘 Decel Grid – Grid Mount Plate: 绝缘 Screen Grid – Grid Retainer Plate: 绝缘 Acc Touch Flake – Acc Grid: 导通 作業内容 组装完成后，使用测试仪进行导通?绝缘测试。

注意点 上记测试，如有异常时，请再次确认。 添附资料2 中和器 分解?组装方法

※ 请参照添附图纸进行分解?组装作业。 分解1 Keeper Nut(2pcs) Keeper 作業内容 拆下Keeper Nut和Keeper。

注意点 Keeper的分解 分解2 拆下Shroud 六角螺钉（M3×L5）、平型垫圈 各４个 作業内容 先拆下六角螺钉（M3×L5），然后再分解Mount Flange和Insulator Plate。 注意点

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