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OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明(3)

来源:网络收集 时间:2019-04-14 下载这篇文档 手机版
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组装 2 Decel Connector 作業内容 Decel Connector如图放置。

注意点 对准Grid组装夹具和Decel Connector 的孔。 Grid的组装 2 组装 3 Grid的组装 3 对准孔的方向不同 Decel Grid 作業内容 注意点 Decel Grid的击面向下,对准孔的位置。(発散GRID的场合) 収束Grid的击面向上放置。

组装 4 Grid的组装 4 Shield Insulator Grid Insulator1(t=1.0) 作業内容 Shield Insulator和Grid Insulator1如图放置。 注意点 请注意Grid Insulator的厚度有两种(t=1.0、1.2)。

组装 5 六角螺钉(M3×L5)和六角螺母(M3) Acc Connector Acc Grid (根据组装夹具的孔决定方向) 作業内容 将Acc Grid如图安装,注意对准孔的位置。 (根据组装夹具的孔决定Acc Connector的方向, 然后再安装。

注意点 组装夹具的孔和Acc Connector孔要对准。 Grid的组装 5 组装 6 Grid的组装 6 Shield Insulator Grid Insulator2 (t=1.2) 作業内容 将Shield Insulator和Grid Insulator2如图放置。 注意点 注意Grid Insulator的厚度有2种(t= 1.0, 1.2)

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