OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明(4)

组装 7 Grid的组装 7 对准孔 Screen Connector 对准孔 Screen Grid 作業内容 如图所示，根据4个对准孔放置Screen Grid。 注意点

组装 8 Grid的组装 8 六角螺母（M4） 平型垫圈（4）和波形垫圈（4） Insulator1 作業内容 Insulator1，平型垫圈（4）和波形垫圈（4）如图放置、暂时用六角螺母固定。

注意点 组装 9 Grid的组装 9 对准钉 作業内容 注意点 将对准钉插入Grid的对准孔。若对准钉不能向下插入，说明对准钉穿过后，旋转对准钉，Grid安装错误，请再度确认。 确认各对准钉并不是强行才能旋转。

组装 10 Grid的组装 10 作業内容 如图所示拧上六角螺母，完成之后拔去对准钉拆下组装夹具。 8 1 4 5 6 3 2 7 注意点 确认各Grid之间的Shield Insulator 和Grid Insulator没有重叠。

组装11 Grid Retainer Plate的安装 GRID ASSY 六角螺钉（M4×L6） Screen Connector 平型垫圈（4） Grid Retainer Plate 作業内容 如图所示将Screen Connector和Grid Assy.,Grid Retainer Plate组合。

注意点

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