离,可以用原子间距代替,单位为埃(A);?为晶体的静态介电常数。?hs通常是可测的。这样就把缺陷缔合的浓度与微观量联系起来了。
从式3-4-2中还可以看出:温度升高使热骚动加剧,从而促进肖脱基缺陷的生成而不利于缺陷缔合;另外,缺陷缔合能为负绝对值较大的,有利于缺陷缔合。缺陷缔合有多种,也不一定是电中性,现举例如下:
1) 向NaCl中加入CaCl2:
CaCl2?NaCl???CaNa?2ClCl?VNa,CaNa?VNa?(CaNa?VNa)x 2) 向CdF2中加入Sm:SmCd?Fi?(SmCd?F')x
这里氟离子虽然是阴离子,但是由于它半径小,容易进入间隙,故形成了Fi。对硼、碳离子等也有此规律。
3) 向ZnS中加入Al3?3????'?'?'?'?':AlZn?VZn?(AlZn?VZn)'
?''?'这就是一个带电的缺陷缔合。
3.5 电子结构(电子与空穴)
3.5.1 能带结构和电子密度
导体、半导体和绝缘体的电子能带结构如图3-9。
可见导体的价带和导带是有重叠的,在外电场的作用下,大量共有化电子很 易获得能量,集体定向流动形成电流,从能级图上来看,是因为其共有化电子很易从低能级跃迁到高能级上去。
半导体的价带和导带之间有较窄的能隙,称为禁带,一般禁带宽度Eg?2eV;绝缘体的禁带则较宽,从能级图上来看,是因为满带与空带之间有一个较宽的禁带(Eg 约3~6 eV),共有化电子很难从低能级(满带)跃迁到高能级(空带)上去。正是由于这种电子结构的差异,才有导电性能的差异。当外电场非常强时,它们的共有化电子还是能越过禁带跃
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迁到上面的空带中的,绝缘体和半导体可能会发生击穿。
图3-9 导体、半导体和绝缘体的的能带结构
由固体物理的知识,半导体中受激的电子浓度ne是与导带中的有效态密度NC、导带底的能级EC、费米能级Ef和温度T等有关的,可用下式表述:
ne?NC?exp(?*EC?EfkT) 式3-5-1
2?mekT3/2*h是普朗克常数;当)其中的NC?2?(,me是电子的有效质量,
h2T?300K 时,硅的NC为2.8?1019/cm3,砷化镓的NC为4.7?1017/cm3。
对于被激发的电子空穴浓度,也有:
np?NVexp(?Ef?EVkT) 式3-5-2
*2?mhkT3/2*)其中价带中空穴的态密度NV?2?(,mh是空穴的有效质量,当2hT?300K 时,求出硅的NV为1.04?1019/cm3,砷化镓的NV为7.0?1018/cm3。对本征
半导体,me?mh。
??3.5.2 掺杂后的点缺陷的局域能级
在本征半导体如Si(Eg?1.09eV)或Ge(Eg?0.71eV)中进行不等价掺杂,形成
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的点缺陷处在禁带中接近导带底或价带顶的局域能级上,使价电子受激到导带中或使空穴受激到价带中变得容易,大大增加了受激的电子或空穴的数量。
1)Ge中加入VA族的As:由于Ge是VI族元素,外层有四个电子,而As是VA族,外层有五个电子,进入Ge的晶格后,多余的电子成为非局域性的―准自由电子‖,或者可以说:形成的AsGe缺陷的能级距导带底很近,容易受激而使该―准自由电子‖跃迁到导带中,对电导形成贡献。见图3-10
x
图3-10 半导体的N型掺杂
可以用AsGe?ED?AsGe?e' 来描述这一过程,此式中的ED就是AsGe缺陷所处的局域能级距离导带底的能隙,实验测出ED?0.0127也就是说,由于AseV??Eg(Ge)。的掺杂,产生了局域能级,使得电子被激到导带中去变得容易了。类似于AsGe这样能提供―准自由电子‖的缺陷叫―施主缺陷‖,对应的As掺杂Ge是n型半导体。
2)Ge中加入IIIA族的B:B的外层有3个电子,B 进入Ge的晶格后,容易使价带中的电子被激至一距离价带顶很近的局域能级上去,形成BGe缺陷,同时在价带内形成空穴。见图3-11
'xx?x 23
图3-11 半导体的P型掺杂
用Ea表示BGe缺陷所在能级与价带顶的能隙,测出的Ea?0.0104eV??Eg(Ge)。也就是说,由于B的掺入,产生了局域能级,使得空穴被激发到价带中去变得容易了。类似于BGe这样能―吸引‖价带中的电子而在价带中产生空穴的缺陷叫―受主缺陷‖,对应的B掺杂Ge是p型半导体。
类似的例子还有很多,比如:ZnS在真空中加热,会由于S的逸出而在晶体内留下硫空位和准自由电子:Vs?2e'?Vs'',形成的Vs''就是一个施主缺陷;但若ZnS在硫蒸气中加热,就会产生锌空位和空穴:VZn?2h??VZn,或者说VZn提供空穴,自身变成VZn,则VZn就是一个受主缺陷。见图3-12
??''??
图3-12 硫化锌的结构示意图
若将Al3?加入ZnS中,由于是不等价掺杂,情况类似于Ge中加入As:
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继续进行还有:AlZn?ED'?AlZn?e',由于ED'?ED,AlZn?ED?AlZn?e',故第二步难度较大。
若将Ag?加入KCl中,生成AgK缺陷。此缺陷既可以给出电子到导带,也可以―吸引‖价带中的电子从而在价带中形成空穴,故称为―两性缺陷‖(amphoteric defects)。表达式为:
x????AgK?ED(6.4eV)?AgK?e', AgK?EA(5.6eV)?AgK?h?
有关的趣味知识:
向掺杂的化合物或某些能产生准自由电子的非化学计量化合物(如TiO2)提供光、热等能量时,受激产生的准自由电子或空穴相当于处在电离态,有强氧化性。利用这种性质可制成有自净化和抑菌功能的材料如自净化玻璃等。这种玻璃在光照下会由于准自由电子或空穴的激发而使有机物、油污等不易附着,也叫―光催化效果‖。
x?x'3.6 半导体的光学性质
如果用适当波长的光照射半导体,那么电子在吸收了光子后将由价带跃迁到导带,而在
价带上留下一个空穴,这种现象称为光吸收。半导体材料吸收光子能量转换成电能是光电器件的工作基础。光垂直入射到半导体表面时,进入到半导体内的光强遵照吸收定律:
Ix=I0(1-r)e
式中,I:距离表面x远处的光强;I:入射光强;
x
0
-αx
r:材料表面的反射率;
α:材料吸收系数,与材料、入射光波长等因素有关; 1.本征吸收
半导体吸收光子的能量使价带中的电子激发到导带,在价带中留下空穴,产生等量的电子与空穴,这种吸收过程叫本征吸收。
要发生本征光吸收必须满足能量守恒定律,也就是被吸收光子的能量要大于禁带宽度Eg,即
hν≥Eg (3-6-1)
从而有
ν0≥Eg/h
λ0≤h/Eg=1.24μm·eV/Eg
其中h是普朗克常量,ν是光的频率.C是光速,ν0:材料的频率阈值,λ0:材料的波长阈值,表3-2列出了常见半导体材料的波长阀值。
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