SEM基本结构及工作原理(7)

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从电子枪构造示意图可以看到热电子发射型电子枪和热阴极场发射电子枪（FEG）的区别在于：热电子发射型电子枪在紧靠灯丝下面有一个韦氏极，在韦式极上加一个比灯丝更负的电压，这个电压称为偏压（bias voltage），这个偏压控制了电子束流和它的扩展状态；而对于热阴极场发射电子枪，不采用韦式极，而是用吸出极和静电透镜。

图11 电子枪构造示意图

目前商业生产的扫描电镜大多是采用发夹式钨灯丝电子枪的。

影响电子枪发射性能的因素（依据于所发射电子束的强度Jk）：

（1） 灯丝阴极本身的热电子发射性质（如电子逸出功，几何形状等）；

（2） 灯丝阴极的加热电流。试验表明，发射电流强度是随着阴极加热电流 的增加而增加的；

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