SEM基本结构及工作原理(11)

SEM

测器前段栅网上加250-500V正偏压，吸引二次电子，增大检测有效立体角。这些二次电子不断装机闪烁体，产生可见光沿逛到管先到光电倍增器进行放大，输出电信号可达10mA左右，在经视频放大器稍加放大后作为调制信号，最后转换为在阴极射线管荧光屏上显示的样品表面形貌扫描图像，供观察和照相记录。通常荧光屏有两个，一个供观察用，一个供照相用了或者一个供高倍观察用，一个供低倍观察用。

图13 电子检测器

3 扫描电子显微镜的工作原理

电子枪的热阴极或者场发射阴极发出的电子受样机电压（1-50KV）加热并形成笔尖状电子束，其最小直径为10-50um量级（场发射枪中位100-1000埃）。经二或三个电磁透镜的作用，在样品表面汇聚成一个直径可小至10-100埃的细束，称为电子探针，携带束流量为10-10-10-12A。有时根据某些工作模式的要求，束流可增至10-8-10-9A，相应的束直径将变为0.1-1um。在末透镜上部的扫描线圈作用下，细电子束在用品表面做光栅状扫描，即从左上方向右上方扫，扫完一行在扫其下相邻的第二行，知道扫完一副（或帧）。如此反复运动。

4 扫描电镜的调整

4.1 电子束合轴

处于饱和的灯丝发射出的电子束通过阳极进入电磁聚光系统。通过三级聚光镜及光阑照射到样品上，只有在电子束与电子光路系统中心合轴时，才能获得最大的亮度。调整电子束对中（合轴）的方法有机械式和电磁式。机械式是调整合轴螺钉，电磁式则是调整电磁对中线圈的电流，以此移动电子束相对光路中心位置达到合轴目的。这是一个细致工作，要反复调整通常在荧光屏幕上得到最亮的图像为止。

4.2 放入试样

将试样固定在试样盘上，并进行导电处理，是试样处于导电状态。将试样盘装入样品更换室，预抽三分钟，然后将样品更换室阀门打开，将试样盘放在样品台上，在抽出试样盘的拉杆后关闭隔离阀。

4.3 具体控制参数的选择

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