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SEM基本结构及工作原理

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SEM

SEM基本结构及原理

1 电子束与样品表面的作用

弹性散射：电子束的能量不损失，只改变方向，如背散射电子。

非弹性散射：入射电子熟不进改变方向，也改变能量。包括二次电子，俄歇电子，特征X射线，荧光。

图1 电子束与样品的作用深度示意图

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