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扫描电子显微分析与电子探针
2.偏转系统
作用:使电子束产生横向偏转,包括用于形成光栅状扫描的扫描系统,以及使样品上的电子束间断性消隐或截断的偏转系统。偏转系统可以采用横向静电场,也可采用横向磁场。
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