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数字式传感器
第一节
计量光栅
一、光栅的类型和结构 计量光栅可分为透射式光栅和反射 式光栅两大类,均由光源、光栅副、光 敏元件三大部分组成。 计量光栅按形状又可分为长光栅和 圆光栅。2013-7-5 2
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