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数字式传感器
光栅细分举例有一直线光栅,每毫米刻线数为50,细 分数为4细分,则:
分辨力 =W /4 =(1mm/50)/4=0.005mm=5 m 采用细分技术,在不增加光栅刻线数 (成本)的情况下,将分辨力提高了3倍。
2013-7-5
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