TEMPRESS扩散炉报警信息 - 图文

Tempress扩散炉报警信息消除标准作业手册

题 目：Tempress扩散炉报警信息消除标准作业手册 文件号：SOP-SB-CZ-扩散-004 版本号：OR 页号：1/6 修订状态：0 发布日期： 批准/日期： 信息消除权限级别编制/日期： 序号报警信息审核/日期： 中文翻译报警信息原因分析消除报警措施1234567891011121314操作人员查看舟，炉门，桨，机械臂prcesss message:boat in工艺信息：舟进炉管桨进炉管的提醒报警是否在安全位置，无问题点击触摸屏即可操作人员查看舟，炉门，桨，机械臂prcesss message:boat out工艺信息：舟出炉管桨出炉管的提醒报警是否在安全位置，无问题点击触摸屏即可由于舟脚修补过，在舟脚出来时可能无法工序长选择取消工艺程序无法检测到舟脚位置检测到。但实际中舟boat out of range的位置正常报警出现拖舟现象，舟的设备人员根据实际位置不正确情况进行调节由于触摸屏点击太Tube communication等待一会儿，同时炉管通讯错误报警快，与工控机无法迅error缓慢触碰触摸屏速通讯导致的报警桨，炉门停止动作报无法找到舟角拔出急停开关即可警Boat fused alarm出现了撞舟，撞桨，防止出现事故拍下急设备人员根据实际托舟停情况进行调节人为选择取消工艺导取消后跟踪桨进出Abort on operator选择终止工艺程序致情况无法升温，可能是扩工艺重新设置中心散布中心温度设置太温度Wait temperature等待温度报警低导致alarm设备加热部分存在故检查加热回路是否存在问题障，需设备排查原因在调试机器时使用将manual状态切换Boat manual alarm手动操作报警manualbox操作产生成auto状态的报警Analog input alarm 6Analog limit 6Branch on boat out ofrange alarm temp.high-limit alarmzone1-5analog input alarm 6temp.low-limit alarmzone1-5模拟输入6错误报警酸排存在问题A工序长A工序长A工序长CAACABC设备人员工序长工序长设备人员工序长工艺人员设备人员C设备人员工艺/设备人员工艺/设备人员设备人员设备人员工艺/设备人员设备人员检查炉管气压，必B/C要时联系工艺设施检查管内气压，必B/C要时联系工艺设施查看跳步原因CC模拟输入6限位报警酸排波动超过极限位无法检测到舟脚位置同上现象，并出现跳报警并跳步步5个温区超温报警模拟输入6错误报警5个温区低温报警5个温区温度高于最设备人员检查加热高限位部分酸排出现错误检查管内气压，必B/C要时联系工艺设施C5个温区温度低于最检查加热回路是否低限位存在问题 无锡佳诚太阳能科技有限公司

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题 目：Tempress扩散炉报警信息消除标准作业手册 文件号：SOP-SB-CZ-扩散-004 版本号：OR 页号：2/6 修订状态：0 发布日期： 序号1516报警信息branch on analog inputalarm 6 wait boat alarm中文翻译模拟输入6错误报警并跳步等待舟出错报警5个温区加热功率出错报警DMC通讯错误报警信号3极限报警并跳步数字输入信号1出错数字输入信号2出错报警信息原因分析酸排报警并跳步消除报警措施信息消除权限级别工艺/设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员工艺/设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员检查管内气压，必B/C要时联系工艺设施CCCCCCCB/CCCCCCCCCCCCCCCCCC没有找到舟角，可能设备检查桨和舟的由于桨静止不动导致状态5个温区无法加热与DMC通讯出现错误O2流量存在偏差N2压力存在问题设备人员检查加热部分DMC电源被切断检查O2压力是否正确检查N2压力是否正常17temp.power alarm zone1-518 communicatin error DMC19 branch on analog limit 3202122232425262728293031323334353637383940digital input alarm 1digital input alarm 2digital input alarm 3digital input alarm 4digital input alarm 5digital input alarm 6digital input alarm 7digital input alarm 8digital input alarm 9digital input alarm 10digital input alarm 11digital input alarm 12digital input alarm 13digital input alarm 14digital input alarm 15digital input alarm 16digital output alarm 1digital output alarm 2digital output alarm 3digital output alarm 7digital output alarm 5压缩空气压力存在问检查CDA是否正常题检查炉门及炉门数字输入信号3出错炉门状态存在问题SENSOR是否感应到数字输入信号4出错数字输入信号5出错数字输入信号6出错酸排压力存在问题切换至UPS电源UPS电源电量太低检查管内压力值外部可能断电检查UPS或其线路是否正常检查炉管温度是否正常数字输入信号7出错炉管温度传感器报警检查热排是否正常数字输入信号8出错超温保护控制器报警数字输入信号9出错数字输入信号10出错数字输入信号11出错数字输入信号12出错数字输入信号13出错数字输入信号14出错数字输入信号15出错数字输入信号16出错数字输出信号1出错数字输出信号2出错数字输出信号3出错数字输出信号7出错数字输出信号9出错净化冷却风扇存在问检查风扇是否运行题恒温箱状态检查恒温箱恒温箱状态检查恒温箱未知错误未知散热器存在问题检查热排是否正常检查线路是否正R2D与炉管连接常，供电是否正常R2D无法上料，桨上检查桨上舟的状态有舟R2D无法与loader建查看R2D 24V电是立连接否通路检查N2压力是否正N2压力存在问题常检查O2压力是否正O2压力存在问题确检查O2压力是否正O2 LOW压力存在问题确检查小N2的压力流小N2的压力存在问题量是否正常24v输出电路存在问检查线路是否正题常，供电是否正常 无锡佳诚太阳能科技有限公司

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题 目：Tempress扩散炉报警信息消除标准作业手册 文件号：SOP-SB-CZ-扩散-004 版本号：OR 页号：3/6 修订状态：0 发布日期： 序号4142434445464748495051525354报警信息digital output alarm 6中文翻译数字输出信号8出错报警信息原因分析消除报警措施信息消除权限级别CCCCCCCCAAAAAA设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员设备人员工序长工序长工序长工序长工序长工序长digital output alarm 7数字输出信号12出错digital output alarm 14-16analog input alarm 1analog input alarm 6analog I/O alarm 3analog I/Ot alarm 7analog I/O alarm 8Home needed数字输出信号14-16出错模拟输入信号1出错模拟输入信号6出错模拟输入输出信号3出错模拟输入输出信号7出错模拟输入输出信号8出错需要复位Shuttle is already inshuttle 正在运行useLift Boat is already机械臂正在运行中runningCannot start, already无法开始，机械臂正无法开始，正在运行运行过程中不允许in cycle在运行中中进行其他操作already in standby***Standby ButtonActivated byOperator******Abort***已经停止暂停按钮被人员启动有人点击了standby根据实际情况观察指令或机器出现问题是否需要restart确定机械臂处于安对可能出现的危险情全位置时对其进行况要点击此键复位确定机械臂各部分被人为停止或运行过都处于安全位置并程中出错复位机械臂上无舟运行过选择restart复位程中出错机械臂上有舟运行过设备人员根据实际程中出错情况进行操作请确定shuttle上送舟进炉管时报警舟的状态请确定shuttle上送舟进炉管时报警舟的状态送舟到shuttle时报请确定shelf上舟警的状态在运行过程中无法复等待运行结束即自位动消除在确定安全的情况急停按钮被拍下下拔出急停，拔出前需先点击stop24v输出电路存在问检查线路是否正题常，供电是否正常检查pocl3阀门是pocl3阀门转变否正常R2D与炉管的通讯存检查供电及连线是在问题否正常检查N2流量偏差原N2流量偏差限位报警因检查炉管内压力，酸排压力存在问题是否需要维护检查O2流量是否正O2流量存在问题确检查小N2的压力流小N2的流量存在问题量是否正常查看恒温箱是否存恒温箱温度不正常在问题机械臂行走位置不正在确保Y轴处于安确或中途被人为终止全位置时整体复位等shuttle运行完成等待运行结束即自之后再进行操作动消除在运行中有人进行了运行过程中不允许操作进行其他操作55取消/终止AACAAAAC工序长工序长设备人员工序长工序长工序长工序长设备人员56End of cycle bad运行出错，无法继续5758596061There is no boat on没有舟在shuttle上shuttleThere is no Boat on没有舟在shuttle上Shuttle in MemoryThere is Boat on Shelf有一个舟在存储架上in MemoryImpossible to home正在运行中无法复位running in progressEmergency ButtonActivated急停开关动作 无锡佳诚太阳能科技有限公司

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题 目：Tempress扩散炉报警信息消除标准作业手册 文件号：SOP-SB-CZ-扩散-004 版本号：OR 页号：4/6 修订状态：0 发布日期： 序号6263报警信息*** End of Cycle bad:Home***中文翻译运行出错，无法继续，需要重新复位报警信息原因分析运行过程中出错消除报警措施选择复位信息消除权限级别AA工序长工序长6465666768697071727374请确定舟在或不在Memory Mismatch for机械臂上舟的状态不机械臂sensor上感应机械臂上并压到感Boat on Lift正确舟状态不正常应器请确定舟是否压到Memory Mismatch for存储架1上舟的状态shelf1上sensor感感应器，舟角是否Boat on Shelf 1不正确应舟的状态不正常平请确定舟是否压到Memory Mismatch for存储架2上舟的状态shelf2上sensor感感应器，舟角是否Boat on Shelf 2不正确应舟的状态不正常平请确定舟是否压到Memory Mismatch for存储架3上舟的状态shelf3上sensor感感应器，舟角是否Boat on Shelf 3不正确应舟的状态不正常平请确定舟是否压到Memory Mismatch forshuttle上舟的状态shuttle上sensor感感应器，舟角是否Boat on Shuttle不正确应舟的状态不正常平检查*** Error Memory and传感器感应舟的状态机械臂上某个舟的状shuttle,shelf,liSensor***不正确态不对ft上舟的状态There is no Boat on传感器未感应到存储点击运行时机械臂报请检查机械臂上是Shelf in Memory器上舟的存在警否有舟There is no Boat on从shelf上取舟时报请确定shelf上有舟存储架上没有舟Shelf警There is a Boat on请确定炉管内是否有一个舟在炉管内送舟进炉管时报警Furnace in Memory有舟There is a boat on有一个舟在shuttle请确定shuttle上取舟时出现报警shuttle上舟的状态There is No Boat onFurnace in MemoryThere is no Boat onLift没有舟在炉管内没有舟在lift取舟时出现报警运行机械臂时报警请确定炉管内是否有舟请确定机械臂上舟状态AAAAAAAAAAAACACAC工序长工序长工序长工序长工序长工序长工序长工序长工序长工序长工序长工序长设备人员工序长设备人员工序长设备人员75机械臂上没有舟运行选择resart或复位*** End of Cycle bad:shuttle到shelf运行出过程中出错Shuttle -> Shelf ***错机械臂上有舟运行过设备人员根据实际程中出错情况进行操作机械臂上没有舟运行选择restart或复过程中出错位*** End of Cycle bad:shelf到shuttle运行出Shelf -> Shuttle ***错机械臂上有舟运行过设备人员根据实际程中出错情况进行操作*** End of Cycle bad:炉管到shelf运行出错Furnace -> Shelf ***机械臂上有舟运行过设备人员根据实际程中出错情况进行操作机械臂上没有舟运行选择restart或复过程中出错位7677 无锡佳诚太阳能科技有限公司

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题 目：Tempress扩散炉报警信息消除标准作业手册 文件号：SOP-SB-CZ-扩散-004 版本号：OR 页号：5/6 修订状态：0 发布日期： 无锡佳诚太阳能科技有限公司

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