洁净厂房空调净化系统验证方案RD(5)

样品来源 温度 检测依据 测试结果 送风口编号 风速 标准要求 结果 检测地点 相对湿度 第 46 页 共 69 页 OQ附表2： 高效过滤器风速、气流流型及气流组织检测记录 气流流型 （组织） 标准要求 检测结果 检查人/日期： 复核人/日期： OQ附表3： 高效过滤器风速、气流流型及气流组织检测报告

检测区域 高效过滤器编号 风速 气 流 流 型（组织） 第 47 页 共 69 页 结 果 检查及评价结果： 偏差说明： 检查人： 年 月 日 复核人： 年 月 日

第 48 页 共 69 页

OQ附表4： 洁净室风量及换气次数测试记录

样品来源： 检验编号： 检验日期： 报告日期： 检验依据：

房间名称 检查及评价结果： 偏差说明： 检查人： 年 月 日 复核人： 年 月 日

房间体 积（m） 3选用风口 规格 数量 风量 换气次数 备注

OQ附表5： 洁净区相对压差测试记录 房间名称 相对房间名称 结果 房间名称 第 49 页 共 69 页 相对房间名称 结果 检查人： 复核人： 日期： 检查人： 复核人： 日期： 检查人： 复核人： 日期： 检查及评价结果： 偏差说明： 检查人： 年 月 日 复核人： 年 月 日

第 50 页 共 69 页

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