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XULM(简体版)操作说明书(HK)(5)

来源:网络收集 时间:2018-12-25 下载这篇文档 手机版
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5. WinFTM?软件的’测量”应用窗口再次出现,仪器做好测量准备。

5.4 设定产品程式

产品程式设定要求:

所用产品程式的Def.MA文件(应用程式的测量设定定义――――Def.MA)

(必须已经在WinFTM?软件内定义,或必要时设定一个新的Def.MA文件)

设定产品程式:

1. 选择菜单“产品程式-开启新…”打开“选择测量应用程式”窗口,其中列有现有的一系列Def.MA文件。 2. 选择要用的Def.MA文件。

3. 选择[确定]确认。窗口“建立新产品程式”出现。默认的新产品程式名称自动显示在“名称”输入框中。例如,如果选中的Def.MA是“Zn/Fe”,则在“名称”输入框中显示“Zn/Fe”。

下一个可用的编号作为新产品程式的编号自动显示。

4.对产品程式名称和编号作必要的改变

不可能用同一个编号设定两种产品程式!如果一个编号已被使用却又指定给一个新产品程式,程序将显示相应信息。

5.选择[确定]。应用程序窗口“测量”重新出现。产品程式已经设定完成并自动选择。

仪器做好测量准备。

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一旦一种产品程式设定后,建议制作一个适合该产品程式的标样(参见“5.6 标 样”一节第21页)。这便于进行调校检验测量(参见“4.5调校检验测量”一节,第

13页)。

5.5 选择调校标准片

通常情况下,考虑到没有标准片也应能进行测量,在所有测量模式中都使用了无标准测量。 无调校测量检验或调校修正可通过使用最多20片标准片来进行,调校以后,就可以进行测量了。

选用的标准片面的镀层厚度或成分应与被测样品的相近。如果使用几个标准片,它们应在期望的测量范围内均匀分布。

5.6 标样

标样(工作标准片)是明确定义了测量区域的样品,镀层厚度或组成Xvp已知。标样可能..

是从自己或他方的产品中取得的某一合适的校准仪测量过的样品。

标样用于仪器的调校控制。

测试区的涂镀层厚度或组成应较均匀。设定的产品程式的标样应与被测样品有相同的特性(底材,涂镀层或底材的组成等等)

5.7 底材修正

如果被测底材与以前所测样品的底材有差别,就应进行底材修正,也就是说,在底材上的

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读数偏离了零点。如果在Def.MA中定义的底材是纯元素,就不需要进行底材修正。

被测样品的涂镀层下面的材料称为底材。

因此,底材就是待测镀层镀在它表面的材料。另一方面,如果不测量中间层的话,它也可能是底材的一部分。

底材修正要求: ●

通电后,在进行底材修正前应预热FISCHERSCOPE? X-RAY仪器一会儿。预热 通过

持续至少半小时的测量来进行。测量在子程序“频谱”中进行。

调用子程序“频谱”,选择[测量]开始连续测量,半小时后,选择[停止]中止连

续测量.(要调用子程序“频谱”:从“测量” 应用程序窗口选择图标

底材修正仅用于当前的应用程式。对其它应用程式无效。

进行底材修正:

1. 选择菜单“调校……底材修正”。出现“元素:测量产品的底材物料”提示信息。 2. 放置底材(参见“4.6放置样品”,从第13页开始),选择[确定]开始测量。“测量中”窗口出现。

3. 底材修正结束时出现“测量”应用窗口。仪器准备测量。

。)

底材(无待测涂镀层的样品)

5.8 归一化

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如果调校检验测量时偏差四倍于标准偏差S(参见“4.5调校检验测量”一节,从13页开始)。

归一化要求:

1. 底材(无待测涂镀层的样品)。(如果底材是纯元素则不需要) 2. 标准片底材(在Def.MA文件中定义)。(如果底材是纯元素则不需要)

3. 纯元素标准片(只有在Def.MA文件中选中“测量元素”复选框才需要,即频谱资料库不再用于计算纯元素)。

4. 测量干扰频谱的材料(在Def.MA文件中)。(例如印刷线路板上的溴)

通电后,在进行底材修正前应预热FISCHERSCOPE? X-RAY仪器一

会儿。预热

可通过持续至少半小时的测量来进行。测量在子程序“频谱”中进行。

调用子程序“频谱”,选择[测量]开始连续测量,半小时后,选择[停止]中止连续测量.(要调用子程序“频谱”:从“测量” 应用窗口选择

归一化仅用于当前的应用程式,对其它应用程式无效。

图标。)

进行归一化: 1. 选择菜单“调校……归一化”打开“归一化”应用窗口。指令窗口出现下一步的操作

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指示,。如果要求测量,按第2点开始的描述开始进行。如果在指令窗口显示“不需要测量,按测量键”,则不需要再测量。在这种情况下,不必放置标准片或底材,选择[测量],按[是]确认“归一化完成,接受?”信息。程序返回“测量”应用窗口。仪器准备测量。

2. 如果要测量的话,放置底材或纯元素标准片。(参见“4.6放置样品”,从第13页开始)后开始测量(参见“4.7进行测量”一节,从第14页开始)。测量结束,读数显示在测量数据区。

3. 按照指令窗口中的提示进行测量。如果一个纯元素标准片或底材要测量几次,轻轻移动标准片或底材几次。这样可以均化材料上的电势不均性。

4. 在归一化结束时,信息“归一化完成,接受”出现,选择[是]确认。“测量”应用窗口重新出现,仪器准备测量。

5.9 调校

如果在归一化后,校调检验测量时偏差大于标准偏差S的四倍,那么就要进行调校(参见“4.5 调校检验测量”一节,从13页开始)。 调校要求:

● 底材(无待测涂镀层的样品)。(如果底材是纯元素则不需要) ● 标准片底材(在Def.MA文件中定义)。(如果底材是纯元素则不需要) ● 纯元素标准片(只有在Def.MA文件中选中“测量元素”复选框才需要,即频谱资 料

库不再用于计算纯元素)。

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