重大科学仪器设备开发-国家科技管理信息系统公共服务平台(3)

考核指标：电流测量范围0~10000A；100mA量程指标：电流分辨率≤1μAT，线性度≤100ppm，准确度≤200ppm；600A量程指标：电流分辨率≤10μAT，线性度≤1ppm，温度系数≤0.1ppm/K，准确度≤1ppm；10000A量程指标：电流分辨率≤50μAT，线性度≤1ppm，温度系数≤0.1ppm/K，准确度≤2ppm；平均故障间隔时间≥10000小时。

1.20 微型电场传感器

研究目标：开发高性能微型电场传感器，突破工艺一致性和温度漂移抑制等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在探空仪、静电监测与安全防护系统、雷电预警系统等仪器中的应用。

考核指标：测量范围±120kV/m，分辨力≤0.05kV/m，准确度≤5%，功耗≤600mW，封装体积≤φ50mm×80mm，实现直流、交流电场测量；平均故障间隔时间≥5000小时。

1.21 高精度多通道数据采集器

研究目标:开发高精度多通道数据采集器，突破高速共享缓存矩阵设计和快速实时信号同步处理等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在质谱仪、噪声分析仪、磁场测试仪、低温物理参数测试仪等仪器中的应用。

考核指标：通道数≥64（可扩展），最大采样率≥204.8kHz，非杂散动态范围≥120dB，采样位数≥24bit，最大电压范围

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±10V，灵敏度50nV，串扰抑制≥110dB；平均故障间隔时间≥5000小时。

1.22 高速高精度二维扫描微镜

研究目标：开发高速高精度二维扫描微镜，突破低应力薄膜加工、片上角度检测等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在共聚焦显微镜、3D激光扫描仪、微型激光雷达等仪器中的应用。

考核指标：工作波段800nm~2500nm，绕快轴扫描角度≥40?，扫描谐振频率≥25kHz；绕慢轴扫描角度≥60?，扫描谐振频率≥600Hz，指向性扫描时光线扫描角度≥30?，指向性偏转步进精度≤2μrad；抗冲击≥1200g，实现对转角的实时检测；平均故障间隔时间≥10000小时。

1.23 紫外凸面光栅

研究目标：开发紫外波段闪耀凸面光栅，突破光栅槽形精密刻划关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在紫外超光谱成像仪、紫外多光谱成像仪等仪器中的应用。

考核指标：工作波长范围250nm~400nm，凸面光栅口径≥55mm，线密度范围500~700线/mm，曲率半径≤150mm，光栅衍射效率≥60%；平均故障间隔时间≥5000小时。

1.24 宽谱段高分辨单色器

研究目标：开发宽谱段高分辨单色器，突破二维色散自动定位校正关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化

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推广，形成具有自主知识产权，质量稳定可靠的产品，实现在等离子体发射光谱仪、原子吸收光谱仪、拉曼光谱仪、原子荧光光谱仪等仪器上的应用。

考核指标：波长范围160nm~1000nm，波长误差≤±0.03nm，波长重复性≤0.005nm，最小光谱带宽≤0.009nm@257.610nm；平均故障间隔时间≥5000小时。

1.25 微型集成扫描光栅微镜

研究目标：开发微型集成扫描光栅微镜，突破微型扫描光栅设计制造、光学准直与集成等关键技术，开展工程化开发、应用示范与产业化推广，形成具有完全自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在近红外光谱仪、荧光光谱仪、共聚焦显微镜等仪器中的应用。

考核指标：波长范围800nm~2500nm，镜面面积≥6mm×6mm，衍射效率≥40%，最高扫描频率≥700Hz，最大扫描角度≥±7°，驱动电压≤1.5V；平均故障间隔时间≥10000小时。

1.26 高精度微量加液器

研究内容：开发高精度微量加液器，突破高精度旋转阀制造、高精度位移及温度控制等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在流动注射分析仪、液相色谱仪、质谱仪、电位滴定仪、固相萃取仪等仪器中的应用。

考核指标：流量范围2nL/s~5mL/s，准确度≤0.3%，重复精度≤0.2%，最小加液体积≤5nL，加液管容积10μL~100mL，满足定时加液、定量加液、变流量加液、超微量加液等多种

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加液需求，满足强酸强碱及多种有机溶剂的使用要求；平均故障间隔时间≥10000小时。

1.27 快速反应分析转化器

研究目标：开发快速反应分析转化器，突破秒级反应原位驱动与快速捕捉等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现与质谱检测器、红外检测器、热导检测器等的联用。

考核指标：最高加热温度≥1400℃，温度控制精度≤0.3%，最高反应压力≥5MPa,在线热启动时间≤0.5s,适用的最快反应时间≤1s；平均故障间隔时间≥10000小时。

1.28 长行程精密运动平台

研究目标：开发长行程精密运动平台，突破高精度复合直线运动机构和超快直线驱动等关键技术，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在高通量基因测序仪、超分辨显微成像仪、工业快速检测仪等仪器中的应用。

考核指标：X-Y行程≥150mm，移动速度≥1m/s，Z向跳动幅度≤±0.4μm，闭环分辨率≤5nm；Z向行程≥20mm，移动速度≥1m/s，X-Y向跳动幅度≤±0.2μm，闭环分辨率≤5nm；非线性度≤0.03%，最大负载能力≥10kg；平均故障间隔时间≥5000小时。

1.29 宽频带同轴步进衰减器

研究目标：开发宽频带同轴步进衰减器，突破弹性件热处理与表面处理工艺、精密微组装、电磁控制等关键技术，

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开展工程化开发、应用示范和产业化推广，形成具有自主知识产权、质量稳定可靠的产品，实现在矢量网络分析仪、信号源、频谱分析仪等仪器中的应用。

考核指标：频率范围DC~26.5GHz：最大衰减量90dB，步进量10dB，驻波比≤1.5，插入损耗≤1.8dB，寿命≥500万次；频率范围DC~50GHz：最大衰减量60dB，步进量10dB，驻波比≤1.6，插入损耗≤2.5dB,寿命≥200万次；频率范围DC~67GHz：最大衰减量50dB，步进量10dB，驻波比≤1.7，插入损耗≤3.0dB,寿命≥100万次。

2. 高端通用仪器工程化及应用开发

共性考核指标：目标产品应通过可靠性测试和第三方异地测试，技术就绪度不低于8级；至少应用于2个领域或行业；明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量；形成批量生产能力，明确项目验收时销售数量和销售额。

2.1 高精度光热电位分析仪

研究目标：针对石化、材料、能源、食品、药品、环保等行业化学成分分析需求，突破光度法、热分析法与电位法综合分析和高精度高通量滴定等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的高精度光热电位分析仪，开发相关软件和数据库，实现对物质中离子或基团的含量检测。开展工程化开发、应用示范和产业化推广。

考核指标：光度分析：光谱范围≥400nm~700nm，波长准确度≤±1nm，吸光度精度≤0.001Abs；热分析：温度范围-10℃~60℃，分辨率≤10-4℃，准确度≤10-3℃，响应速度≤0.3s；

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