电感式传感器的发展与应用(3)

感器一并使用。

四是利用新型材料提高自身的性能。如正在研究的非晶态合金压磁电感式薄膜压力传感器，能在较大温度变化范围内稳定工作的，满足了低压的流体压力测试，精度高，造价低18。

2. 电感式传感器的应用

传统的电感式传感器是一种机-电转换装置，在自动控制设备中广泛应用。现在电感式传感器以其结构简单、输出功率大、输出阻抗小、抗干扰能力强、稳定性能好和使用方便等特点，广泛的应用于测量、监测、自控等领域19。其中电涡流传感器具有非接触测量的优势，更受到青睐。

2.1基本应用

2.1.1变磁阻式传感器的应用

一般作为压力传感器和测量工具。

1) 图1为1943年Welter叙述的第一

个导管端血压传感器结构。C形弹

簧管作为第一次换能元件将压力

变化转换为位移的大小变化，衔铁

作为第二次换能元件讲位移大小

转换为电压的变化，达到测量的目

的。 图1 导管端血压传感器结构

2) 图2为新型的测量工具示意图。其

设计是将传统的测量方法与电感

传感器相结合，将测量精度提高到

0.01µm级，满足了现代化机械加工

测量要求。

2.1.2差动变压器传感器的应用

差动变压器式可直接用于位移测量（测

微仪），如长度、内径、外径、不平度、不垂 图2 新型测量工具示意图

直度、偏心、椭圆等；也可以用来测量与位移相关的任何机械量，如振动、加速度、零件的膨胀伸长、应变、移动等。下面是几个应用实

例。

1) 作为电感测厚仪使用。图3是电感测厚仪

的结构原理图，差动变压器铁心与测厚滚

轮相连，板材正常厚度值时调整差动变压

器输出为零，变压器电动势输出大小的变

化反映了被测板材厚度变化的大小，极性

表示厚度是增加还是减小。

2) 作为电感测微仪使用。采用差动变压器，

桥路输出的不平衡与衔铁位移成正比，相

敏输出与交流放大器输出信号成正比，相

位反映了位移的方向。 图3 低频涡流测厚仪

3) 作为电感压差计使用。当压差变化时，腔内膜片产生位移使差动变压器铁心产

生位移，从而使次级感应电动势发生变化，因为输出电压与位移成正比，即与

压差成正比，所以通过输出电压的变化可以检测差压的大小。

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