闪耀光栅原理及其应用(4)

自然辩证法

晶硅面微细加工工艺制作了可动闪耀光栅，器件分辨率，约为０．４

ｒｕｎ［Ｉ

Ｊ．这使得制作集成式微型

可以用来制作集成光谱仪，可以达到１４７０波长

光谱仪、集成光开关成为可能．

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１３３一１３４．

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