扫描电子显微镜与能谱仪

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第一节扫描电镜的分类及应用 扫描电镜的分类

各种扫描电镜的用途

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1.1 扫描电镜的分类

常规扫描电镜（SEM）

环境扫描电镜（ESEM）

场发射扫描电镜（FE-SM）

扫描隧道显微镜（STM）

扫描透射电镜（STEM）

扫描探针显微镜（SPM）

原子力显微镜（AFM）

分析型电镜（与能谱，红外等设备联用）¾¾¾¾¾¾¾¾

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1.2 应用

在化工，造纸，皮革，医药，机械等领域的应用

电镜如何与各领域更好的结合

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第二节电镜及能谱仪的构造及工作原理 电子束与固体样品作用时产生的信号 电镜的工作原理

电镜的构造

主要性能

与能谱仪联用

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2.1 电子束与固体样品作用时产生的信号

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2.2 电镜工作原理

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2.3 构造

电子光学系统

信号收集及显示系统

真空系统和电源系统

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分辨率

景深2.4 电镜主要性能

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2.5能谱仪（EDS）

能谱仪，全称为能量分散谱仪（EDS）

它是依据不同元素的特征X射线具有不同的能量这一特点来对检测的X射线进行分散展谱，实现对微区成分分析。

EDS广泛应用于样品表面的成分定性和定量分析（可以得到微区元素的线分布和面分布）

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2.5.1 样品要求

样品表面洁净

表面具有良好导电性

样品表面光滑平整

样品干燥，不含有挥发性物质

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点分析（囊效应）

线分析

面分析2.5.2 样品分析方法

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定性分析：给出元素种类

定量分析：给出元素含量2.5.3 样品分析

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2.5.4 结果分析

ZAF定量修正法

原子序数修正因子

吸收修正因子

荧光修正因子

W%和A%的含义¾¾

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逃逸峰和肩并峰

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Element

Wt%

At%

KRatio 0.2744 0.0473 0.0029 0.0072 0.1277

Z

A

F

C K O K S K MnK CoK Total

60.27 23.68 0.33 0.73 15 100

74.06 21.84 0.15 0.2 3.76 100

1.029 1.0119 0.952 0.8386 0.8359

0.4424 0.1972 0.9146 1.0227 1.0187

1.0002 1.0004 1.0013 1.1504 1

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第三节扫描电镜样品制备

纸张、粉末、薄膜、皮革等固体样品 菌类、凝胶等生物样品

乳液样品

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