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RDJ-I正型光刻胶说明书- 中国光学光电子行业网-光电行业门户!

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深圳市容大电子材料有限公司

RDJ-I正型光刻胶说明书

RDJ-I正型光刻胶适用于TN和STN-LCD液晶显示器件的制作,该光刻胶具有高感度,高粘附性,高分辨率,良好的涂布性能和对基板粘附性极好等优点。

RDJ-I正型光刻胶一般规格有30mpa.s,50 mpa.s,使用时可根据需要稀释成不同固含量和粘度。

推荐工艺条件 涂布 前烘 曝光 显影 后烘 蚀刻 剥离 23℃,辊涂,膜厚1.0-1.5μm 热板100℃×90sec,烘道100℃×1-2min 40-50mJ/cm2 23℃,0.4-0.6% NaOH,1min,喷淋或浸渍 热板120℃×120sec,烘道120℃×1-2min 45℃,FeCl3/HCl或HNO3/ HCl 40℃,4-6%NaOH

物化性能 外观 闪点(℃) 沸点(℃) 挥发速度(醋酸丁酯为1) 密度(g/cm3) 爆炸极限(v%) 燃烧分解产物 琥珀色透明液体 47 146 0.34 1.06 1.5-7.0 一氧化碳,二氧化碳,氮硫氧化物

使用注意 保存条件 保质期 灭火方法

密封,黄光或暗室保存,远离热源与火种,温度25℃以下 6个月 二氧化碳,干粉,1211,砂土

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